蔡司Axio Imager Vario
发布日期:
2021-05-12 15:45:26
阅读量:
439
检查大型样品的自动化过程-与洁净室兼容。检查微型MEMS传感器,XXL晶片和所有介于两者之间的东西。最大试件尺寸为300×300mm,最大试件厚度为254mm,这是分析大型试件的无损方法。立柱设计确保了稳定性。在您的洁净室检查晶圆:AxioImagerVario是DINENISO14644-1认证,并满足洁净室等级ISO5的要求。与电动z轴驱动和自动对焦系统,你可以带来低对比度,反射标本到完美的焦
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